(1) Tractament pre-PVD, inclosa la neteja dels articles i el pretractament.Els mètodes de neteja específics inclouen la neteja amb detergent, la neteja amb dissolvent químic, la neteja per ultrasons i la neteja amb bombardeig iònic.
(2) Col·loqueu-los al forn, inclosa la neteja i els accessoris de la cambra de buit, i la instal·lació, posada en marxa i connexió d'elements i accessoris.
(3) Aspirar, generalment bombejant a 6,6 Pa o més, obriu la part frontal de la bomba de difusió abans per mantenir la bomba de buit i escalfar la bomba de difusió.Després que el preescalfament sigui suficient, la vàlvula alta s'obre i es bombeja a un buit mig inferior de 6 x 10-3 Pa amb una bomba de difusió.
(4) Enfornar, coure els articles a la temperatura desitjada.
(5) Bombardeig iònic, el buit és generalment de 10 Pa a 10-1 Pa, la tensió de bombardeig iònic és un alt voltatge negatiu de 200 V a 1 KV i el temps d'atac és de 15 min a 30 min.
(6) Pre-fusió, ajustant el corrent per fondre prèviament el material, ajustar el corrent per fondre prèviament el revestiment i desgasificar durant 1 min ~ 2 min.Deposició evaporant.El corrent d'evaporació s'ajusta segons sigui necessari fins que s'acabi el temps de deposició desitjat.Refredament, els articles es refreden a una temperatura determinada a la cambra de buit.
(7) Després de treure els articles, es tanca la cambra de buit, s'evacua el buit a l × l0-1Pa i la bomba de difusió es refreda a la temperatura permesa abans que la bomba de manteniment i l'aigua de refrigeració es puguin apagar.